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CVD金刚石
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  金刚石是自然界存在的特殊材料之一,具有高的硬度、低摩擦系数、高弹性模量、高热导、高绝缘、宽能隙、高的声传播速率以及良好的化学稳定性等,如表1所示。虽然天然金刚石具有这些的特性,但是它们一直仅仅是以宝石的形式存在,其性质的多变性和稀有性极大地限制了其应用。而金刚石膜将 这些优异的物理化学性能集一身,且成本较天然金刚石低,能够制备各种几何形状,在电子、光学、机械等工业领域有广泛的应用前景。

高的硬度(ca. 90Gpa)和耐磨性能

高体积模量 (1.2×1012Nm-2)

极低的可压缩比 (8.3×1013m2 N-1)

室温下有最高的热导率   (2×1013W(mK)-1)

极低的热膨胀系数 (1×10-6K)

从紫外到远红外的各个波段都具有非常高的透过率

高的声音传导速率 (17.5kms-1)

良好的绝缘性能(室温下电阻率为 (ca. 1016Ωcm))

掺杂后可以成为半导体材料

极宽的禁宽度( 5.4eV)

良好的化学惰性和生物相容性

一些晶面表现出了很低或“负”的电子亲合性